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新材料半導(dǎo)體行業(yè)溶劑廢氣凈化工藝

發(fā)布日期:2023-02-24瀏覽次數(shù):5885

  新材料半導(dǎo)體行業(yè)在加工的過程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑,這些溶劑中含有大量的有機(jī)物成分,在整個(gè)工藝加工的過程中將會(huì)有部分的有機(jī)溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放,這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs的主體是VOCs,同時(shí)廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險(xiǎn)污染物,分離和處理難度比較大。


  在新材料廢氣處理新材料廢氣處理設(shè)備設(shè)計(jì)安裝中,我們采用的設(shè)備是RTO設(shè)備。


  RTO設(shè)備的運(yùn)作原理:

  將收集的有機(jī)廢氣通過管道被風(fēng)機(jī)輸送至蓄熱式,通過燃燒天然氣進(jìn)行加熱,將有機(jī)廢氣預(yù)熱至750 ℃左右,再在燃燒室加熱升溫至800~850 ℃,使廢氣中的揮發(fā)性有機(jī)物氧化分解成無害的CO2和H2O,實(shí)現(xiàn)凈化處理;高溫氣體氧化時(shí)的熱量被蓄熱體“貯存”起來,用于預(yù)熱進(jìn)入的有機(jī)廢氣,從而可節(jié)省升溫所需要的燃料消耗,大大降低運(yùn)行成本。


  我們專注于持續(xù)對印刷、噴涂、印染、電子、塑料、家具、煉油、橡膠、化工、造紙、皮革、農(nóng)藥、制藥、食品加工、等惡臭氣體、工業(yè)廢氣的凈化處理等行業(yè)的問題進(jìn)行深度解析。


  所有項(xiàng)目均驗(yàn)收合格,符合廢氣排放標(biāo)準(zhǔn),凈化效率≥95%,車間內(nèi)的有機(jī)廢氣和粉塵顆粒物得到有效的治理,車間環(huán)境明顯得到了改善,且無二次污染。


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  小知識:

  “新材料產(chǎn)業(yè)”包括新材料及其相關(guān)產(chǎn)品和技術(shù)裝備。具體涵蓋:新材料本身形成的產(chǎn)業(yè);新材料技術(shù)及其裝備制造業(yè);傳統(tǒng)材料技術(shù)提升的產(chǎn)業(yè)等。


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