半導(dǎo)體廠給車間排風(fēng)降溫凈化廢氣的方法

半導(dǎo)體廠車間排風(fēng)降溫方法

環(huán)?？照{(diào)采用水蒸發(fā)吸熱制冷的技術(shù)，水在空氣中具有蒸發(fā)能力，在沒有別的熱源條件下，專業(yè)廠房降溫，水與空氣間的熱濕交換過程是空氣將顯熱傳遞給水，使空氣的溫度下降，而由于水的蒸發(fā)，不但空氣的含濕量要增加，而且進(jìn)入空氣的水蒸汽會帶回一些汽化的潛熱，當(dāng)這兩種熱量相等時，水溫就會達(dá)到空氣的濕球溫度。只要空氣不是飽和的，利用循環(huán)水直接（或通過填料層）噴淋空氣就可以獲得降溫的效果，在條件允許的情況下可以降低室溫。

半導(dǎo)體廠車間凈化廢氣方法：

活性炭吸附與催化燃燒設(shè)備

活性炭吸附和催化燃燒設(shè)備可以高效去除涂裝廢氣，催化燃燒設(shè)備是本系統(tǒng)的核心部分，是利用廢氣燃燒產(chǎn)生的熱空氣循環(huán)使用，催化床溫度達(dá)到250～300℃時，催化燃燒床開始反應(yīng)。

一般脫附時間為3-4小時，可以設(shè)定時間活性炭吸附箱定時自動切換脫附，內(nèi)部裝填的陶瓷蜂窩體貴金屬催化劑使用壽命為8000小時。整個脫附系統(tǒng)采用多點(diǎn)溫度控制，保證脫附效果的穩(wěn)定。

內(nèi)裝活性炭層及各種氣流分布器，以濃縮凈化有機(jī)氣體，是整個裝置個主循環(huán)的主要部件及核心工序，采用新型活性炭吸附材料-蜂窩狀活性炭，低阻低耗，高吸附率等，其結(jié)構(gòu)為多孔蜂窩狀，具有孔隙結(jié)構(gòu)發(fā)達(dá)，比表面積大，流體阻力小等優(yōu)點(diǎn)，該產(chǎn)品特別適用于大風(fēng)量，低濃度工廠有機(jī)廢氣凈化治理。