電子芯片廢氣治理方案案例

發(fā)布日期：2022-10-10瀏覽次數(shù)：6461

　　電子芯片廢氣治理方案案例

　　電子廠廢氣包括二氧化硫，三甲胺，NOx，氮?dú)浠衔?，苯二甲酸二辛酯等?而產(chǎn)生這些廢氣的主要是產(chǎn)生于芯片或線路板生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影等過(guò)程中。

　　電子制造業(yè)排放VOCs廢氣中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。

　　對(duì)電子行業(yè)廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)計(jì)選型，嚴(yán)格按照或地方的大氣污染物治理達(dá)標(biāo)排放標(biāo)準(zhǔn)，以及企業(yè)廢氣參數(shù)（廢氣成分、濃度和風(fēng)量數(shù)據(jù)等）設(shè)計(jì)廢氣處理方案。

　　針對(duì)電子行業(yè)VOCs排放特點(diǎn)采用相應(yīng)末端治理技術(shù)，主要還是活性炭吸附法。吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，吸附劑選擇性高，活性炭屬非極性吸附劑，對(duì)非極性化合物有較強(qiáng)的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs，凈化效率可達(dá)到90%.

　　電子廠廢氣治理工藝：

　　活性炭吸附濃縮催化燃燒：

　　通過(guò)80℃的熱空氣對(duì)吸附在活性炭表面的高濃度的有機(jī)廢氣進(jìn)行高溫脫附，把脫附出來(lái)的高濃度的有機(jī)廢氣送達(dá)催化燃燒氧化爐進(jìn)行285℃-400℃之間的高溫氧化形成二氧化碳和水達(dá)標(biāo)排放。

　　為什么選用該廢氣處理設(shè)備？

　　催化燃燒設(shè)備凈化效率95%以上，適用于大風(fēng)量，低濃度有機(jī)廢氣。加熱溫度280度，活性炭可重復(fù)利用，投入成本低，耗能低。

電子廠廢氣處理解決方案電子生產(chǎn)車(chē)間廢氣凈化達(dá)標(biāo)治理方案