半導體芯片廢氣煙塵凈化方案

發(fā)布日期：2022-09-07瀏覽次數(shù)：8087

　　半導體芯片廢氣煙塵凈化方案

　　半導體行業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分，在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放。其廢氣的主體是VOCs，同時廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險污染物，分離和處理難度比較大。

　　廢氣特點：半導體芯片生產(chǎn)線廢氣具有排氣量大、濃度小的特點。

　　某某電子廠車間生產(chǎn)的3條線產(chǎn)生的廢氣來源，處理風量在30000，每條生產(chǎn)線都安裝了吸風罩，采用噴淋塔吸收后進入主管道到達風機排放，該項目從制作到安裝總共花了25天周期，驗收符合排放標準。

　　半導體企業(yè)車間會產(chǎn)生酸氣，那么半導體酸氣處理方法就采用堿液體噴淋法，又稱化學洗滌法。因液體自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而達到大氣排放標準，故噴淋法是半導體行業(yè)酸堿廢氣治理普遍采用的主要處理方法。

電子半導體行業(yè)廢氣處理簡單描述